“時(shí)鐘和振蕩器是所有電子系統(tǒng)的心跳”，正如Silicon Labs公司副總裁Dave Bresemann所說(shuō)的，振蕩器可謂電子系統(tǒng)正常運(yùn)行的根本。一直以為石英晶振是任何物體都無(wú)法取代的頻率元件，俗不知，SiTime、Discera及Epson Toyocom等大型晶振廠商都制造出了一種可以取代石英晶振的MEMS振蕩器。MEMS振蕩器是指通過(guò)微機(jī)電系統(tǒng)系統(tǒng)制作出的一種可編程的硅振蕩器，屬于我們通常所說(shuō)的有源晶振。它是對(duì)傳統(tǒng)石英晶體諧振器產(chǎn)品的一個(gè)升級(jí)更新?lián)Q代，防震效果是前者的25倍，具有不受振動(dòng)影響、不易碎的特點(diǎn)。MEMS振蕩器的溫度穩(wěn)定性也比傳統(tǒng)晶振更好，不受環(huán)境溫度高低變化的影響。SiTime和Discera制造硅材料的MEMS振蕩器，而Epson Toyocom的MEMS振蕩器是采用被該公司稱(chēng)為“QMEMS”的工藝制造的石英MEMS振蕩器。除SiTime、Discera和Silicon Clocks幾家美國(guó)公司外，歐洲的恩智浦半導(dǎo)體、意法半導(dǎo)體等大企業(yè)都在投資MEMS振蕩器的開(kāi)發(fā)。另外，芬蘭技術(shù)研究中心VTT、MEMS公司VTI及精工愛(ài)普生（Seiko Epson）等也在開(kāi)發(fā)MEMS振蕩器。與以往石英晶振的不同的是，相比小尺寸貼片晶振，MEMS振蕩器的性?xún)r(jià)比更高。泰河電子負(fù)責(zé)人劉工解釋說(shuō)：“因?yàn)閷?duì)于貼片晶振來(lái)說(shuō)，價(jià)格隨著體積變動(dòng)，體積越小，價(jià)格越貴；而對(duì)MEMS振蕩器，體積越小，占用的硅片越小，越便宜”。

   傳統(tǒng)的石英振蕩器是由壓電石英加上簡(jiǎn)單的起振芯片和金屬封裝組成的，依賴(lài)機(jī)械式諧振器進(jìn)行振蕩，因此極易受到撞擊和震動(dòng)的影響，此外，還必須進(jìn)行密封組裝，以防止晶體受到污染，但這會(huì)影響器件的性能。其生產(chǎn)工藝包括：石英切割鍍銀、購(gòu)買(mǎi)基座、起振芯片，以及將石英及芯片以特殊黏膠結(jié)合后至于基座上，然后充填氮?dú)猓媒饘俜庋b進(jìn)行密封。而不同頻率、不同工作電壓振蕩器的產(chǎn)生，則是由石英的不同形狀、鍍銀厚度及所佩的起振芯片所決定。所以，從生產(chǎn)工藝角度，石英產(chǎn)業(yè)是一個(gè)人工密集型的半自動(dòng)化傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)，其產(chǎn)品也受到傳統(tǒng)原材料和工藝的限制。與傳統(tǒng)石英相比，全硅MEMS振蕩器不管從生產(chǎn)工藝還是組件設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)上，都更符合現(xiàn)代電子產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)，也是對(duì)傳統(tǒng)石英產(chǎn)品的升級(jí)換代。且全硅振蕩器沒(méi)有移動(dòng)元器件，因此不易受到撞擊及震動(dòng)的影響，和不會(huì)受到污染，采用塑料封裝無(wú)須密封，使得啟動(dòng)及工作更為可靠頻率穩(wěn)定性，特別是在不同溫度下的穩(wěn)定性，是電子工程師在選擇振蕩器時(shí)考慮的主要參數(shù)之一。因?yàn)槊恳粋€(gè)設(shè)計(jì)，都需要保證系統(tǒng)在整個(gè)工作溫度范圍內(nèi)正常運(yùn)作。而溫飄(頻率隨溫度而顯著變化的現(xiàn)象)則是傳統(tǒng)石英晶振的弱點(diǎn)，難以單純從制造上克服。MEMS既能作為可與CMOS集成的單芯片，又可在一個(gè)晶圓上構(gòu)造多個(gè)諧振器成為SoC計(jì)時(shí)方案。這將帶來(lái)更少的鎖相環(huán)、更好的抖動(dòng)性能以及更低的功耗和成本。